Portal Jurnal UPI

Saung Guru

Sarana Aktivitas Dan Unggulan Guru

« ELECTRANS, Vol. 12, No 1 Maret 2013

PENGARUH PENGOTOR Co PADA STRUKTUR DAN KONDUKTIVITAS
FILM TIPIS TiO2

Aip Saripudin, Tjetje Gunawan, Yuda Muladi
Abstrak
Film tipis TiO2 (titanium dioksida) dan Co:TiO2 (titanium dioksida yang dikotori oleh atom kobal) telah ditumbuhkan di atas substrat Si(100) menggunakan teknik MOCVD (metal organik chemical vapor deposition). Film masing-masing ditumbuhkan pada suhu substrat 450oC selama 120 menit dengan tekanan kamar reaktor 2 ? 10-3 torr. Film TiO2 dan Co:TiO2 yang dihasilkan memiliki struktur kristal tetragonal (a = b = 4,7172 Å, c = 3,0063 Å) berfase rutil dengan orientasi dominan pada (002) dan ukuran bulir rata-rata 170 nm. Permukaan film cukup halus dan merata. Berdasarkan hasil pengukuran menggunakan metode Hall van der Pauww, terjadi perbedaan konduktivitas antara film TiO2 dan Co:TiO2.

Kata kunci : Titanium dioksida, MOCVD, struktur kristal, konduktivitas

Abstrak DOC       Abstrak PDF       Fulltext PDF      Send to email      Print      Share on Facebook

© Universitas Pendidikan Indonesia 2011.